Деионизированная (деионизованная) вода — это глубоко обессоленная сверхчистая вода, не содержащая ионов примесей. В зависимсоти от назначения деионизованная вода имеет удельное сопротивление 1МОм•см и более. Деионизацию осуществляют с помощью ионообменных смол с предварительным использвоанием обратного осмоса. Деионизованная вода применяется в электронном приборостроении, энергетике, при выращивании кристаллов, производстве печатных плат. В микроэлектронике используется деионизированная (деионизованная) вода трёх классов чистоты: класс «В» — вода, получаемая из исходной путём предварительной подготовки и деионизации на установках централизованной очистки воды, класс «Б» — вода, получаемая из воды класса «В» путём финишной деионизации и очистки от бактериальных и микрочастиц размером 0,2 мкм, класс «А» — вода высшей степени чистоты, получаемая из воды класса «Б» путём финишной деионизации с применением систем стерилизации, микрофильтрации, ультрафильтрации и обратного осмоса. Для получения глубоко обессоленной воды ООО «БМТ» предлагает линейку мембранных деионизаторов производительностью 5, 10, 25, 35, 50 и 100 л/ч методами обратного осмоса, ионного обмена и электродеионизации.
Показатель
|
ASTM D1193-06 Технический норматив для воду для реактивов
|
Степень чистоты
|
Тип I
|
Тип II
|
Тип III
|
Тип IV
|
Электропроводность при 25°С, мкСм/см
|
0,055
|
1,0
|
0,25
|
5,0
|
Электросопротивление при 25°С, МОм·см
|
18
|
1,0
|
4,0
|
0,2
|
рН при 25°С
|
*
|
*
|
*
|
5,0-8,0
|
Общий органический углерод, мкг/л
|
50
|
50
|
200
|
без ограничения
|
Натрий, мкг/л
|
1
|
5
|
10
|
50
|
Хлориды, мкг/л
|
1
|
5
|
10
|
50
|
Кремний, мкг/л
|
3
|
3
|
500
|
без ограничения
|
Показатель |
ОСТ 11.029.003-80 с изменениями |
А |
Б |
В |
Удельное сопротивление при t 20±2°C, МОм•см |
18 |
17 |
5 |
Органические вещества - перманганатная окисляемость, мг О2/л, не более |
0,5 |
0,6 |
1,0 |
Общий органический углерод, мкг/л, не более |
|
|
|
Кремниевая кислота, мг/л, не более |
0,01 |
0,01 |
0,05 |
Железо, мг/л, не более |
0,002 |
0,005 |
0,01 |
Медь, мг/л, не более |
0,002 |
0,002 |
0,003 |
Хлориды, мкг/л, не более |
|
|
|
Никель, мкг/л, не более |
|
|
|
Нитраты, мг/л, не более |
|
|
|
Фосфаты, мг/л, не более |
|
|
|
Сульфаты, мг/л, не более |
|
|
|
Калий, мкг/л, не более |
|
|
|
Натрий, мкг/л, не более |
|
|
|
Цинк, мкг/л, не более |
|
|
|
Микрочастицы, шт/мл |
2 |
20 |
50 |
Минимальный размер частиц, мкм |
1 |
1 |
5 |
Микроорганизмы, колоний/мл |
1 |
2 |
10 |
Показатель |
|
ASTM D-5127-13 |
Е-1 |
Е-1.1 |
Е-1.2В |
Е1-1.3В |
Е2 |
Е3 |
Е4 |
Удельное сопротивление при t 25°C, МОм•см |
18,1 |
18,2 |
18,2 |
18,2 |
16,5 |
12 |
0,5 |
Органические вещества - перманганатная окисляемость, мг О2/л, не более |
|
|
|
|
|
|
|
Общий органический углерод, мкг/л, не более |
5 |
2 |
1 |
1 |
50 |
300 |
1000 |
Железо, мг/л, не более |
|
|
|
|
|
|
|
Медь, мг/л, не более |
0,05 |
0,02 |
0,002 |
0,001 |
1 |
2 |
500 |
Микрочастицы размером 1-5 мкм, шт/л, не более |
|
|
|
|
|
|
|
Микроорганизмы, колоний/мл, не более |
|
|
|
|
|
|
|
Хлориды, мкг/л, не более |
0,1 |
0,05 |
0,02 |
0,050 |
1 |
10 |
1000 |
Никель, мкг/л, не более |
0,05 |
0,02 |
0,002 |
0,001 |
1 |
2 |
500 |
Нитраты, мг/л, не более |
0,05 |
0,02 |
0,002 |
0,001 |
1 |
5 |
500 |
Фосфаты, мг/л, не более |
0,05 |
0,02 |
0,002 |
0,001 |
1 |
5 |
500 |
Сульфаты, мг/л, не более |
0,05 |
0,02 |
0,002 |
0,001 |
1 |
5 |
500 |
Калий, мкг/л, не более |
0,05 |
0,02 |
0,002 |
0,001 |
- |
- |
- |
Натрий, мкг/л, не более |
0,05 |
0,02 |
0,002 |
0,001 |
1 |
5 |
1000 |
Цинк, мкг/л, не более |
0,05 |
0,02 |
0,002 |
0,001 |
1 |
5 |
500 |
|